平面研磨機的半固結模具技術(shù)應用于石英晶片研磨加工
發(fā)布日期： 2021-01-21 瀏覽人數：
平面研磨機的半固結模具技術(shù)應用于石英晶片研磨加工
為了解決超薄石英晶片高表面質(zhì)量的加工問(wèn)題，以及尋求一種高效低成本的加工方法，將一種新的超精密拋光工藝應用到超薄石英晶片的加工中。依照傳統的平面研磨機游離磨粒加工，因為工件與磨具之間的磨粒粒度實(shí)際不均勻，較大尺度的磨�；驈墓ぜ系袈涞某叨容^大的磨削簡(jiǎn)單進(jìn)入加工區，使得無(wú)論是硬質(zhì)研磨盤(pán)還是軟質(zhì)盤(pán)，大顆粒與磨粒的載荷不同，簡(jiǎn)單致使工件的外表?yè)p害。
平面研磨機的半固結磨料磨具和一般磨具在結構上對比相似，由磨粒、孔隙、結合劑構成，但組合劑強度不大，當硬質(zhì)大顆粒進(jìn)入加工區時(shí)，研磨盤(pán)上大顆粒周?chē)チ？砂l(fā)生方位搬遷，構成“圈套”空間，使大顆粒與磨粒趨于等高。使得載荷變化小，外表?yè)p害也相對較低。
由于石英晶片的基頻與表面質(zhì)量直接相關(guān)，石英晶片超精密平面研磨機半固結磨粒磨具加工技術(shù)，使石英晶片表面質(zhì)量有望得到提高。石英晶片的基頻，也因此得到了穩定及提高。
實(shí)驗結果表明：使用該工藝加工超薄石英晶片可以得到厚度為9.7mm、表面粗糙度為0.002mm的超光滑表面;同時(shí)，該研究還發(fā)現通過(guò)延長(cháng)拋光時(shí)間可以減小石英晶片的表面殘余應力，可有效控制石英晶片四角“翹曲”現象，得到更好的平面度和平行度。相關(guān)設備：平面研磨機
135 3273 6969
微信公眾號
